测量表面光洁度范围 0.03~1μm(▽10~▽14)半宽度 ▽λ≈100Å
工作物镜的数值孔径 0.65 工作台升程 5mm
工作距离 0.5mm X、Y方向移动范围 ≈10mm
仪器的视场 目视 Φ
0.25mm 旋转运动范围 360°
照相 0.21×0.15mm 仪器标准镜高反射率 ≈60%
仪器的放大倍数目视 500× 低反射率 ≈4%
照相 168× 可调变压器输入电压 220V
测微目镜放大倍数 12.5× 输出电压 4V~6V
测微鼓分划值 0.01mm 仪器外形尺寸 270×160×230mm
绿色干涉绿色片波长 λ≈5300Å 仪器重量 ≈5㎏