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便携式半导体特气检漏仪

]资料
如果您对该产品感兴趣的话,可以
产品名称: 便携式半导体特气检漏仪
产品型号: XP-703DIII
产品展商: 日本新宇宙
产品文档: 无相关文档


简单介绍
XP-703D 便携式半导体特气检漏仪,适合于检测半导体特气(胂、膦、乙硼烷、硅烷、氢气等)的微量泄漏;采用声光报警。

便携式半导体特气检漏仪

的详细介绍

XP-703D 便携式半导体特气检漏仪规 格
型       号
XP-703D
检测对象气体
半导体材料气体(胂、膦、乙硼烷、硅烷、氢气等)
检测原理
专线型半导体式
采样方式
自动吸引式
可检测浓度
(单位:ppm)
砷烷   磷烷    乙硼烷    硅烷     氢气
AsH3   PH3      B2H6     SiH4      H2
0.2    0.3    0.1       0.5        1.0
检测表示
蜂鸣器断续鸣响及指示灯闪烁
应答速度
10秒以内
 

检测对象
H2丨AsH3丨B2H6丨SiH4丨PH3
检测浓度
1.0ppm丨0.5ppm丨0.2ppm丨0.5ppm丨0.3ppm
检测原理
专线型半导体式
采样方式
自动吸引式
应用行业
半导体制造












产品描述:半导体材料气体检测


01.产品特点

●  小型·轻量

●  可以检查非常微量的气体泄漏

●  *适合氢气相关设备的保安

●  搭载的泵有自动停止功能

●  搭载[自动气体排气模式]功能

●  保护等级约为IP22(JIS C  0920)※安装皮套时


02.产品用途

●  半导体工厂/石油化学工厂等

●  在使用半导体材料气体/毒性气体的现场进行泄漏检测


03.产品参数

图片.png

※1.根据不同环境条件、使用条件、保存期限、电池厂家,有时会有不同。

※2.安装皮套时。
※3.所谓相当于IP22是指:对于手指接近设备内部的危险位置的保护结构(IP2X)、以及外部对垂直15度以内倾斜时,在4个位置各2.5分(合计10分)垂直落下的水滴不会给机器内部造成有害影响的结构。



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