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便携式半导体特气检漏仪
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产品名称:
便携式半导体特气检漏仪
产品型号:
XP-703DIII
产品展商:
日本新宇宙
产品文档:
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简单介绍
XP-703D 便携式半导体特气检漏仪,适合于检测半导体特气（胂、膦、乙硼烷、硅烷、氢气等）的微量泄漏；采用声光报警。
便携式半导体特气检漏仪
的详细介绍
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型 号
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XP-703D
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检测对象气体
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半导体材料气体（胂、膦、乙硼烷、硅烷、氢气等）
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检测原理
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专线型半导体式
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采样方式
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自动吸引式
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可检测浓度
（单位：ppm）
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砷烷 磷烷 乙硼烷 硅烷 氢气
AsH3 PH3 B2H6 SiH4 H2
0.2 0.3 0.1 0.5 1.0
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检测表示
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蜂鸣器断续鸣响及指示灯闪烁
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应答速度
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10秒以内
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检测对象
H2丨AsH3丨B2H6丨SiH4丨PH3
检测浓度
1.0ppm丨0.5ppm丨0.2ppm丨0.5ppm丨0.3ppm
检测原理
专线型半导体式
采样方式
自动吸引式
应用行业
半导体制造
产品描述：半导体材料气体检测
01.产品特点
● 小型·轻量
● 可以检查非常微量的气体泄漏
● *适合氢气相关设备的保安
● 搭载的泵有自动停止功能
● 搭载[自动气体排气模式]功能
● 保护等级约为IP22（JIS C 0920）※安装皮套时
02.产品用途
● 半导体工厂/石油化学工厂等
● 在使用半导体材料气体/毒性气体的现场进行泄漏检测
03.产品参数
※1.根据不同环境条件、使用条件、保存期限、电池厂家，有时会有不同。
※2.安装皮套时。
※3.所谓相当于IP22是指：对于手指接近设备内部的危险位置的保护结构（IP2X）、以及外部对垂直15度以内倾斜时，在4个位置各2.5分（合计10分）垂直落下的水滴不会给机器内部造成有害影响的结构。
