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线性测微计

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产品名称: 线性测微计
产品型号: 542 激光全息测微计
产品展商: 日本三丰
产品文档:

传感器系统 线性测微计 激光扫描测量仪详细...

简单介绍

线性测微计 三丰公司的激光全息测微计是一种**数 显测量系统，采用衍射光束干涉，进行高 精度和高重复精度测量。它具有超细衍射 光栅，将全息影像记录在刻度尺上。激光 全息测微计适于测量精度极高的工件，特 别适于半导体等行业使用。

线性测微计

的详细介绍

线性测微计
支持自动化仪表及专用量具的配套使用
Laser Hologage (激光全息测微计)
542 系列 — 0.00001mm 分辨率型
特点
•由于具有 0.00001mm (0.01µm) 的极高分
辨率适于进行高精度测量，其性能接近
激光干涉仪。
•具有极高的测量稳定性——高防护性设
计，适于在恶劣的环境下工作，如温度
和气压变化的环境。
•心轴导轨使用高精度线性滚珠轴承，移
动非常滤波且延长了使用寿命。
•带有显示装置。
性能参数
测量范围 货号 分辨率 精度 测力 ** 轴套直径 备注
10mm 542-925* 0.01µm 0.1µm 0.55N / 0.45N / 0.35N 15mm —
10mm 542-926* 0.01µm 0.1µm 0.1N / — / — 15mm 低测力
* 为区分交流电源电缆，在货号后加上以下后缀 ：A适于 UL/CSA，D适于 CEE，DC适于 CCC，E适于 BS，K适于 EK，无后缀适于 JIS/100V
** 量具的方向 ：心轴向下 / 水平 / 向上
LGF 线性测微计
542 系列 — 0.0001mm 分辨率型
性能参数
测量范围 货号 分辨率 精度 测力 * 轴套直径
10mm 542-181 0.0001mm (0.8+L/50)µm 1.2N / 1.1N / 1.0N 8mm
25mm 542-182 0.0001mm (0.8+L/50)µm 4.6N / 4.3N / 4.0N 15mm
* L 为测量长度 (mm)
** 量具的方向 ：心轴向下 / 水平 / 向上

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